1938年美国国家标准制定了针对中效空气高效送风口的比色效率检测法,按尘源又分为人工尘比色效率法和大气尘比色效率法2种。1952年美国高效送风口研究所制定的AFI人工尘计重法,主要用于粗效高效送风口。ASHRAE52-76影响*大,20世纪80年代国内提出采用大气尘计径计数法作为一般通风用高效送风口检测方法。
人工尘计重法是以人工尘为尘源,通过检测被测高效送风口前后人工尘质量变化来确定高效送风口的过滤效率;比色效率法是根据采样前后由于积尘使滤纸的光通量或色度发生变化,采用比色计来判别其差异,从而得出高效送风口的效率;计径计数法是通过白炽光源或激光光源的粒子计数器测量被测高效送风口前后各粒径档的累积粒子数目确定各粒径档的累积计数效率,此方法给出一条随粒径变化的过滤效率曲线,能够更全面地反映高效送风口的性能。随着电子行业的发展,洁净级别要求越来越高,特别是1级洁净室的出现,相应地对检测技术和检测仪器提出了更高的要求。为适应这种要求,国外已研制出并开始生产测量0.1μm粒子的激光粒子计数器,*近又成功研制测量更小粒径0.01μm的粒子计数器。激光粒子计数器、凝聚核粒子计数器等新型测量仪器的出现和气溶胶技术的发展,为测量计径效率提供了必要的方法和手段。